Институту выделили 113,5 миллиона рублей на обновление приборной базы. Самой масштабной закупкой будет установка для производства жидкого азота вместе с системой автоматической подачи.
Также запланирована покупка атомно-силового микроскопа, сканирующего электронного микроскопа, 3D профилометра – конфокального микроскопа для высокоточного измерения профиля поверхности, шероховатости поверхности и пленок, трехканальной системы СДОМ 3/100-2М предназначенной для термической обработки полупроводниковых пластин, сообщила пресс-служба института.
«Мы надеемся, что установка для производства жидкого азота позволит покрыть все потребности института в этом веществе. Жидкий азот используется при создании полупроводниковых структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)», – прокомментировал замдиректора института по научной работе Александр Милехин.
Метод молекулярно-лучевой эпитаксии позволяет выращивать полупроводниковые структуры, контролируя их состав на уровне отдельных атомов.
«Еще мы рассчитываем приобрести 3D профилометр – конфокальный микроскоп для высокоточного измерения поверхности и шероховатости пленок и структур. Он будет использоваться в новой молодежной лаборатории физико-технологических основ создания фотоприемных устройств на основе полупроводников A3B5. Кроме того, лаборатории нужна установка для резки (скрайбирования) полупроводниковых пластин, благодаря гранту появилась возможность купить и ее», – добавил Милехин.
Также ученые подали заявку на приобретение атомно-силового и сканирующего электронного микроскопов. Эти два прибора дополняют друг друга – первый позволяет точно определять высоту рельефа наноструктуры, а второй – измерять латеральные параметры (длину, ширину, расстояние между отдельными элементами наноструктуры).
Еще одна крупная покупка нужна для создания полупроводниковых материалов на основе кремния – это установка термической обработки полупроводниковых пластин при проведении технологических процессов диффузии, окисления и отжига в потоке рабочих газов.
Ученый подчеркнул, что 50% закупаемого оборудования – российского производства.
