Кремниевые меры высоты и плоскостности разработали ученые Института физики полупроводников СО РАН. Меры востребованы среди производителей высокоточной измерительной аппаратуры (в частности, атомно-силовых микроскопов), на предприятиях микро- и наноэлектроники и высокоточного машиностроения.
«Отличие наших мер от тех, что широко используются сейчас, – это прослеживаемость: мы можем одновременно измерить объекты, размеры которых – доли нанометра и десятки нанометров. Наши меры перекрывают весь диапазон от 0,3 до 100 нанометров. На сегодняшний день для измерения объектов в сотни нанометров используется одна линейка, а для единиц нанометров – другая. Это приводит к определенным сложностям: проводится компарирование (сличение) линеек, определяется масштаб неизбежно возникающих ошибок», – цитирует «Наука в Сибири» замдиректора по развитию ИФП СО РАН Дмитрия Щеглова.
Мера плоскостности представляет собой идеально гладкую поверхность кристалла кремния диаметром до миллиметра. Мера высоты – это «стопка» атомных слоев кремния, она может варьироваться от одного до нескольких сотен слоев. Один слой примерно в 200 тысяч раз тоньше человеческого волоса.
С помощью новых мер можно проводить измерения объектов, размеры которых сопоставимы с атомными и даже меньше них. Меры могут использоваться для усовершенствования и калибровки измерительного оборудования.
«В наших мерах заинтересованы производители атомно-силовых, оптических микроскопов, кроме того, мы сами ведем разработку специальных микроскопов нового типа в рамках гранта Российского научного фонда», – добавил Щеглов.
